1960年，商河县更名为乐陵县，孤岛人民公社改置为垦利县，博兴县陈庄人民公社（今属桓台县）的辛庄、冯马、胡马、齐马、坊子五个自然村划归邹平县焦桥人民公社。

1961年1月，经国务院批准，撤销淄博专区，恢复惠民专区，专区领导机关迁回滨县北镇。各县开始建区，改大公社为小社。10月，析邹平县黑里寨、青城、花沟和博兴县田镇、高城、唐坊、旧镇共七个区复置高青县；广饶县龙居、乔庄、纯化三个区复归博兴县，同时，恢复1958年撤并的滨县、阳信县、桓台县、利津县，沾化县阎家人民公社复归滨县；乐陵、商河、临邑、济阳复制后划回德州专区。惠民专区辖惠民、滨县、阳信、无棣、沾化、博兴、邹平、高青、桓台、广饶、利津、垦利共12县。其中，邹平县置15个区，辖86处人民公社；高青县置7个区，辖53处人民公社；滨县置9个区，辖57处人民公社；惠民县置13个区，辖85处人民公社；博兴县置11个区，辖60处人民公社；阳信县、无棣县、沾化县仍为大公社。

1962年3月，邹平县炭张、芽庄等八个村庄复归章丘县，辛庄、坊子等五个村庄复归桓台县。

1964年，阳信县改为9个区，辖46处人民公社；无棣县改为10个区，辖55处人民公社；沾化县改为9个区，辖58处人民公社。至此，各县改社建区全部完成。

1964年10月，四女寺减河（今漳卫新河）左侧无棣县辛集区的辛集、良户、宋王、朱王、傅赵、山后六处人民公社和埕口区杨埕人民公社划归河北省。

1966年，各县开始撤区改社。是年，滨县改为11处人民公社；1968年，惠民县改为13处人民公社，无棣县改为17处人民公社，沾化县改为19处人民公社，博兴县改为14处人民公社，邹平县改为18处人民公社；1970年，高青改为7处人民公社，阳信县改为13处人民公社，至此，各县撤区改社全面完成，境内八县共置112处人民公社。

1967年2月27日，中共惠民地委与惠民专署被地区革命委员会代替。1971年6月5日，重建中共惠民地委。1978年7月10日，惠民地区革命委员会改为惠民地区行政公署。

1980年，滨县北镇人民公社改为镇。1981年12月，各县城驻地人民公社全部撤社建镇。

1982年，析滨县北镇、博兴县小营人民公社和蔡寨人民公社朱全镇管理区建立滨州市，置1镇3乡3个办事处。惠民地区辖滨州市和滨县、惠民、阳信、无棣、沾化、博兴、邹平、高青、桓台、广饶、利津、垦利共1市12县。