古代时期

春秋战国时期，佛山属于百越地。

佛山秦、汉时期，现禅城、顺德、南海、三水属南海郡番禺县；高明属高要县。

晋代，禅城称“季华乡”。

590年（隋开皇十年），从番禺县分置南海县，因旧置南海郡得名。

628年（唐贞观二年），季华乡称“佛山”，意为“佛家之山”，简称“禅”。

五代十国时佛山、顺德属咸宁县，宋初重新并入南海县。

1452年（明景泰三年），敕封佛山为“忠义乡”，属南海县。同年，置顺德县，意为“顺天威德”。1475年（明成化十一年）置高明县，因原有高明巡检司而得名。

1819年（清嘉庆二十四年）置三水县，意为“三水合流”。

民国时期

1912年（民国初期）设立南海县府于佛山镇。

1924年（民国十三年）设立佛山市政厅，三年后因贪污腐败而撤销。

1934年（民国廿三年）改名佛山特别区，属下六个乡公所。

1938年（民国廿七年）佛山沦陷后伪日时期。

1945年（民国卅四年）抗日胜利，撤销佛山特别区，改六乡为三镇。

1946年（民国卅五年）设南海县府，撤三镇为佛山镇，直至1949年10月佛山解放。

新中国时期

1949年10月19日，高明县全境解放，高明县人民政府由合水移至明城。10月29日，佛山军管会成立，并接管南海县；顺德县、三水县、高明县也分别由中国人民解放军实施军事管制。10月31日，佛山市人民政府成立。

佛山1950年2月15日，成立三水县人民政府。3月1日，成立南海县人民政府。3月20日成立顺德县人民政府。7月1日，佛山改市为镇，归南海县管辖。

1951年6月26日，佛山镇改镇为市。

1954年6月，中共粤中区党委、粤中行署由江门市迁入佛山市大福路10号。粤中行署辖24县（中山、顺德、南海、三水、番禺、东莞、宝安、增城、博罗、龙门、珠海、新会、高明、鹤山、封开、 怀集、高要、广宁、四会、新兴、罗定、云浮、郁南、德庆），1市（石岐）和2省辖市（江门、佛山）。

1956年2月，成立中共佛山地委、佛山专区，辖13县（中山、珠海、番禺、顺德、南海、三水、新会、鹤山、高明、台山、开平、恩平、花县），1市（石岐）和 2 省辖市（佛山、江门）。

1958年佛山、江门改县级市，由佛山专区领导。

1958年11月至1959年1月，佛山专区曾改称广州专区。

1966年，佛山市升为地级市，由广东省、佛山专区双重领导。

1970年，佛山专区更名为佛山地区，佛山、江门改为县级市。佛山地区辖南海、顺德、三水、高鹤、台山、恩平、番禺、中山、珠海、新会、开平、斗门12县和佛山、江门两市。

1983年6月1日，撤销佛山地区建制，实行市领导县体制。佛山市辖中山、南海、顺德、高明、三水5县。

1984年6月，佛山市辖汾江区（1986年易名为城区）、石湾区、南海、顺德、高明、三水县，代管中山市。

1992-1994年，顺德、南海、三水、高明先后撤县设市（县级），由佛山代管。

2002年12月，佛山市辖禅城（含城区、石湾、南庄）、顺德、南海、三水、高明五区。